東京精密表面粗糙度·輪廓形狀綜合測(cè)量機(jī)

高穩(wěn)定倍光路型激光干涉?zhèn)鞲衅?/p>

●應(yīng)用東京精密的要素技術(shù)之一的光纖激光干涉測(cè)長(zhǎng)系統(tǒng)，開發(fā)出分辨率0.31nm的高穩(wěn)定倍光路型激光干涉?zhèn)鞲衅鞑⒋钶d在產(chǎn)品上。

●動(dòng)態(tài)量程與分辨率之比高達(dá)42,000,000 ：1，一次跟蹤即可評(píng)價(jià)大范圍的輪廓形狀及其隱藏在形狀下面的微細(xì)表面形狀，是一款劃時(shí)代的產(chǎn)品。

東京精密表面粗糙度·輪廓形狀綜合測(cè)量機(jī)

在驅(qū)動(dòng)部搭載線性馬達(dá)

●憑借線性馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了高精度·高速移動(dòng)。

●電子低振動(dòng)化穩(wěn)定，可以實(shí)現(xiàn)高倍率測(cè)定。

只需一次測(cè)量即可進(jìn)行粗糙度和輪廓的分析

●可在保持高精度的同時(shí)提高測(cè)量效率。大量程

●橫向200mm，縱向13mm，測(cè)量范圍大。

●可±45°自動(dòng)控制驅(qū)動(dòng)部?jī)A斜（SURFCOM CREST-T型號(hào)）

規(guī)格

項(xiàng)　目 SURFCOM CREST 測(cè)量范圍 Z軸（縱向） 13 mm/50 mm 測(cè)臂、 26 mm/100 mm 測(cè)臂 X 軸（橫向） 200 mm 行程 立柱 500 mm 精度 Z 軸指示精度（縱向） ±0.2+IHI/1000 μm （H ：測(cè)量高度 mm）測(cè)量分辨率 0.31 nm/50 mm 測(cè)臂 X 軸指示精度（橫向） ±0.2+L/1000 μm （L ：測(cè)量長(zhǎng)度 mm）測(cè)量分辨率 0.54 nm 直線度精度※1 0.05+3 L/10000 μm （L ：測(cè)量長(zhǎng)度 mm）系統(tǒng)精度※1 系統(tǒng)噪音※2 Ra ≦ 2 nm / 0.4 mm Rz ≦ 10 nm /0.4 mm 球頭形狀誤差※3 Pt ≦ 0.1 μm （φ30 mm以下）半徑測(cè)量的大允許誤差※4 ≦± 1.0 μm （φ30 mm以下）長(zhǎng)度測(cè)量的大允許誤差※5 ≦± (1+L/150) μm （L ：測(cè)量長(zhǎng)度 mm）角度測(cè)量的大允許誤差※6 ≦± 0.5 min （±45度傾斜）感應(yīng)方式 Z 軸（縱向） 高穩(wěn)定倍光路型激光干涉測(cè)長(zhǎng)傳感器 X 軸（橫向） 衍射光柵尺速度立柱上下速度（Z 軸） ～ 200 mm/s 驅(qū)動(dòng)部　測(cè)量速度（X 軸） 0.03 mm/s ～ 3 mm/s（粗糙度測(cè)量時(shí)）、0.03 mm/s ～ 20 mm/s（ 輪廓測(cè)量時(shí)）驅(qū)動(dòng)部　移動(dòng)速度（X 軸） 0.02 mm/s ～ 60 mm/s 驅(qū)動(dòng)部?jī)A斜 ±45° （T型號(hào)）傳感器測(cè)針 交換式測(cè)量力 0.75 mN 測(cè)針半徑 2 μmR 標(biāo)準(zhǔn)配件（ 50 mm 測(cè)臂）測(cè)針材質(zhì) 金剛石功能 收縮功能參數(shù)電源 電壓、頻率 單相AC100 ～ 240 V ±10 %、 50/60 Hz 氣源 供給壓力0.45 ～ 0.7MPa、使用壓力 0.4 MPa、消耗量8 L/mm（大）外形尺寸（W x D x H） 1405 mm×1050 mm×1851 mm 質(zhì)量 700 kg