日立掃描電鏡具有景深大、圖像立體感強(qiáng)、放大倍數(shù)范圍大、連續(xù)可調(diào)、分辨率高、樣品室空間大且樣品制備簡(jiǎn)單等特點(diǎn)，是進(jìn)行樣品表面研究的有效分析工具。所需的加速電壓比透射電鏡要低得多，一般約在1~30kV，實(shí)驗(yàn)時(shí)可根據(jù)被分析樣品的性質(zhì)適當(dāng)?shù)剡x擇，常用的加速電壓約在20kV左右。
日立掃描電鏡的圖像放大倍數(shù)在一定范圍內(nèi)（幾十倍到幾十萬(wàn)倍）可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)調(diào)整，放大倍數(shù)等于熒光屏上顯示的圖像橫向長(zhǎng)度與電子束在樣品上橫向掃描的實(shí)際長(zhǎng)度之比。掃電子光學(xué)系統(tǒng)與透射電鏡有所不同，其作用僅僅是為了提供掃描電子束，作為使樣品產(chǎn)生各種物理信號(hào)的激發(fā)源。其常使用的是二次電子信號(hào)和背散射電子信號(hào)，前者用于顯示表面形貌襯度，后者用于顯示原子序數(shù)襯度。
消像散、對(duì)焦是日立掃描電鏡操作中基本的要求，在進(jìn)行圖像觀察時(shí)要時(shí)刻保持合焦和無(wú)像散的狀態(tài)。
對(duì)焦相對(duì)容易，改變焦距，直至圖像清楚的時(shí)刻即為合焦。在偏離焦距較多的時(shí)候可以用較高的靈敏度，在合焦點(diǎn)附近調(diào)低靈敏度，以便進(jìn)行準(zhǔn)確對(duì)焦。
消像散相對(duì)來(lái)說(shuō)比較麻煩，特別是像散很大時(shí)，對(duì)于很多初學(xué)者來(lái)說(shuō)調(diào)節(jié)比較困難。電子束由于不再是圓形，所以在像散未消除的情況下，圖像是不清晰的。不過(guò)其中有兩個(gè)特殊的位置，即光學(xué)中的子午和弧矢，在這兩個(gè)位置上束斑*成正交的直線(xiàn)，而明晰圓一般在弧矢和子午的中間。
所以反映在圖像上，改變焦距的時(shí)候會(huì)出現(xiàn)兩個(gè)嚴(yán)重的拉伸，拉伸方向可能因樣品而不同，但是這兩個(gè)拉伸方向一定正交。所以此時(shí)將焦距調(diào)節(jié)至兩個(gè)拉伸明顯狀態(tài)的中間位置，基本固定焦距。然后在此焦距下，進(jìn)行消像散線(xiàn)圈的調(diào)節(jié)，先調(diào)X或Y中的一個(gè)維度，待圖像達(dá)到清楚后再調(diào)節(jié)另一個(gè)維度。
有關(guān)拉伸方向的判斷并不困難，試樣中的各種特征點(diǎn)都可以作為判斷依據(jù)，尤其在像散比較大時(shí)，不要焦距和像散的兩個(gè)維度亂調(diào)一氣，以免像散過(guò)大而*無(wú)從判斷。
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